Figaro Sensörleri
gaz tespiti ve analizi için geliştirilmiş yarı iletken tabanlı sensörlerdir. Bu sensörler, genellikle MOX (Metal Oksit Yarı İletken) teknolojisine dayanır ve gazların varlığını tespit etmek için özellikle kullanılır.
Figaro sensörlerinin çalışma prensibi, sensör üzerindeki metal oksit yarı iletkenin elektriksel özelliklerinin hedef gaz moleküllerinin varlığıyla değişmesine dayanır. Sensörün yüzeyine adsorbe olan gazlar, yarı iletkenin elektriksel direncini değiştirir. Bu değişiklik, sensör üzerindeki bir ısıtma elemanı (heater) aracılığıyla ölçülür.
Isıtma elemanı (Heater), sensörün aktif kısmını oluşturan metal oksit yarı iletken üzerinde bir ısıtma elemanı bulunur. Bu eleman, sensör yüzeyindeki gaz adsorpsiyonunu hızlandırarak ve gazların reaksiyon hızını artırarak hassasiyet ve tepki süresini iyileştirir.
Adsorpsiyon ve elektriksel değişim, hedef gaz moleküllerinin sensör yüzeyine adsorbe olduğunda veya kimyasal reaksiyonlara girerek sensörün elektriksel direncini değiştirirler. Bu değişiklik, sensör üzerindeki ölçüm devresi tarafından algılanır ve işlenir.